●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです●スタート時のフローサージ現象を抑制します●フルスケール流量●ガス種類●流量精度±％（精度保証範囲～℃）●応答性●流量制御範囲～％●入出力アナログ信号（～）●バルブ形式ノーマルオープン●再現性±％●動作圧力範囲～●耐圧（）●外部リークレート×･（）以下●接ガス部材質、、フッ素ゴム●接続相当●電源＋±％、－±％●通信方式アナログ～（コネクタ）●サイズ××

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